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Optics & Lithography

光學與微影

把電路「印」到晶圓上的核心技術，以及 EUV 的門檻。

知識點目錄

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全部 ASML (1) EUV (1) 光罩 (1) 反射光學 (1) 微影 (1) 曝光 (1) 波長 (1) 解析度 (1)

微影技術原理：把電路「印」到晶圓上

光、光罩與光阻的三方合作，是晶片圖案的源頭。

約 6 分鐘 · 微影、曝光、光罩、解析度