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晶圓廠五大類設備，與量測檢測如何守住良率。

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晶圓廠五大類設備機台

沉積、微影、蝕刻、摻雜、研磨——認識撐起製程的硬體。

約 5 分鐘 · 設備、沉積、蝕刻、CMP